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在電子科技的迅猛發(fā)展的今天，同樣也帶動(dòng)了空氣潔凈產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。從2003年130nm工藝到2005年的90nm工藝以及2007年的50nm工藝、2009年的34nm工藝以至現(xiàn)在的25nm工藝。線間距越來越小，同樣的潔凈度等級要求也越來越高。